Установка дисковой резки УР.ПДП-150
|
Установка дисковой резки УР.ПДП-150 предназначена для высокоточного сквозного разделения/скрайбирования пластин и подложек из полупроводниковых и диэлектрических материалов:
- Поликор ВК-100
- Керамика ВК-94, ВК-40, Т-150 и др.
- Ситалл
- Кварц
- Ниобат лития
- Кремний
- Ферриты
- Карбиды
- Стекло и др.
Высокое качество резки пластин/подложек обеспечивается благодаря жесткой конструкции корпуса, прецизионно отбалансированному валу шпинделя на воздушных подшипниках, а также плавной подачей заготовки. Система управления установки построена на базе компьютера промышленного исполнения с установленным программным обеспечением, которое обеспечивает работу на установке в ручном и полуавтоматическом режимах.
В установке УР.ПДП-150 используются надежные комплектующие известных мировых производителей: система управления Advantech Automation (США), пневматическая система - SMC (Япония), шаговые привода EverElettronica (Италия), привод шпинделя KEB (Германия).
| Технические характеристики: |
|
| Диаметр обрабатываемых пластин, не более, мм | 150 |
| Ось Х (подача заготовки): | |
| Скорость свободного перемещения, мм/c | 0,1 - 75 |
| Ось Y (подача инструмента): | |
| Скорость свободного перемещения, мм/c | 15 |
| Длина хода, мм | 160 |
| Дискретность перемещения, мм | 0,005 |
| Ось Z (подъем/опускание заготовки): |
|
| Длина хода, мм | 6 |
| Дискретность перемещения, мм | 0,002 |
| Ось U (поворот заготовки): | |
| Угол поворота, не более, ° | 170 |
| Мощность шпинделя, не менее, кВт | 1,2 |
| Скорость вращения шпинделя, об/мин | 10 000 - 45 000 |
| Напряжение питания, В | 220 |
| с частотой тока, Гц | 50 |
| Потребляемая мощность, не более, кВА | 2,5 |
| Давление сжатого воздуха, не менее, МПа | 0,5 |
| Потребление сжатого воздуха, не более, куб.м/час | 10 |
| Давление охлаждающей жидкости, не более, МПа | 0,2 |
| Потребление охлаждающей жидкости, куб.м/час | 0,12 |
| Габаритные размеры, не более, мм | 955х1080х1200 |
| Масса, не более, кг | 460 |