Установка монтажа пластин на спутник носитель WM-200
| |
Установка WM-200 предназначена для монтажа пластин/подложек на рамки с использованием пленочного носителя. Данная операция производится непосредственно перед резкой пластины на отдельные кристаллы и заключается в закреплении пластины на адгезионную пленку и стальную рамку.
Установка позволяет работать как с обычными, так и с УФ-чувствительными пленками, обеспечивая их равномерное натяжение и прилегание к пластине/подложке без образования воздушных пузырьков. В систему встроен цифровой регулятор температуры, поддерживающий необходимую температуру в рабочей зоне и обеспечивающий повторяемость монтажа. Для удобства в работе и увеличения производительности в установке имеются линейный и циркулярный ножи, срезающие остатки пленки.
| Технические характеристики: | |
| Диаметр монтируемых пластин, не более, мм | 200 |
| Температура подогрева рабочей зоны, не более, °С | 65 |
| Давление сжатого воздуха, не менее, МПа | 0,3 |
| Напряжение питания, В | 220 |
| с частотой тока, Гц | 50 |
| Габаритные размеры, не более, мм | 410х730х340 |
| Вес, не более, кг | 35 |
Рабочая поверхность | Монтажная пленка |