Установка формирования кассеты кристаллов DME-220

Установка DME-220 предназначена для создания равномерных промежутков между кристаллами разрезанной полупроводниковой пластины путем равномерной растяжки пленочного носителя во всех направлениях. Внедрение данной операции позволяет получить следующие преимущества:

• Повышение эффективности отмывки пластин/подложек после дисковой резки
• Упрощение процесса снятия кристаллов/элементов с пленочного носителя
• Отсутствие сколов на краях кристаллов, образующихся при их съеме с пленочного носителя, т.к. соседние кристаллы не соприкасаются друг с другом

Растяжение пленки на установке DME-220 производится следующим образом: внутреннее кольцо пялец устанавливается на подогреваемый столик, внешнее кольцо пялец устанавливается в крышку, разрезанная пластина, закрепленная на рамке с пленочным носителем, устанавливается между столиком и крышкой. По команде оператора столик начинает подниматься вверх, растягивая пленку и смыкая внутреннее и внешнее кольца пялец. Таким образом, растянутая пленка с кристаллами оказывается зафиксированной в пяльцах.

Установка производит нагрев пленки для повышения ее эластичности при растяжении. К другим настраиваемым параметрам процесса относятся длина хода столика, влияющая на величину растяжения пленки, а также скорость хода.