Установка формирования кассеты кристаллов DME-220

 
  • Работа с пластинами диаметром до 200 мм
  • Равномерная растяжка пленочного носителя во всех направлениях
  • Нагрев рабочего стола
  • Простота использования и технического обслуживания

 

 Установка формирования кассеты кристаллов DME-220

Установка DME-220 предназначена для создания равномерных промежутков между кристаллами разрезанной полупроводниковой пластины путем равномерной растяжки пленочного носителя во всех направлениях. Внедрение данной операции позволяет получить следующие преимущества:

  • Повышение эффективности отмывки пластин/подложек после дисковой резки
  • Упрощение процесса снятия кристаллов/элементов с пленочного носителя
  • Отсутствие сколов на краях кристаллов, образующихся при их съеме с пленочного носителя, т.к. соседние кристаллы не соприкасаются друг с другом

 

Растяжение пленки на установке DME-220 производится следующим образом: внутреннее кольцо пялец устанавливается на подогреваемый столик, внешнее кольцо пялец устанавливается в крышку, разрезанная пластина, закрепленная на рамке с пленочным носителем, устанавливается между столиком и крышкой. По команде оператора столик начинает подниматься вверх, растягивая пленку и смыкая внутреннее и внешнее кольца пялец. Таким образом, растянутая пленка с кристаллами оказывается зафиксированной в пяльцах.

Установка производит нагрев пленки для повышения ее эластичности при растяжении. К другим настраиваемым параметрам процесса относятся длина хода столика, влияющая на величину растяжения пленки, а также скорость хода.

Технические характеристики: 
Диаметр обрабатываемых пластин, не более, мм

200

Ход рабочего стола, мм

25-75

Температура нагрева рабочего стола, не более, оС

65

Напряжение питания, В

220

с частотой тока, Гц

50

Потребляемая мощность, не более, Вт

140

Габаритные размеры, не более, мм

540х380х180

Вес, не более, кг

45

 

 

Процесс работы DME-220

В открытом состоянии DME-220

В процессе работы

С открытом состоянии