Фотолитография
|
Установка предназначена для проявления фоторезиста, нанесенного на пластины/подложки посредством налива проявляющей жидкости различными типами струй с их последующей промывкой. Процесс проявления происходит в автоматическом режиме и легко программируется с помощью сенсорного дисплея. Программное обеспечение позволяет задавать оператору даже самые сложные рецепты обработки. |
Установка предназначена для нанесения и задубливания фоторезиста и позволяет обрабатывать пластины диаметром до 150 мм или прямоугольные подложки размером до 127х127 мм. Процесс происходит в автоматическом режиме и легко программируется с помощью сенсорного дисплея. | |
|
Установка предназначена для нанесения фоторезиста фоторезиста на пластины/подложки методом распыления или центрифугирования. Метод распыления позволяет получить равномерное покрытие фоторезиста на пластинах/подложках с высокой топологией.
|
Настольная установка серии TCS предназначена для нанесения/проявления фоторезиста и может быть легко сконфигурирована под требования Заказчика. Установка ориентирована на работу в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях. | |
|
Установка предназначена для сушки и задубливания фоторезиста на пластинах и подложках. За счет особой конструкции нагревателя установка обеспечивает высокую однородность температуры рабочей поверхности. Установка ориентирована на работу в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях. |
