Фотолитография

  Установка нанесения и проявления фоторезиста TCS

 

  •  Центрифуга для нанесения фоторезиста серии TCS

Настольная установка серии TCS предназначена для нанесения/проявления фоторезиста и может быть легко сконфигурирована под требования Заказчика. Установка ориентирована на работу в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях.

 

 

Подробнее

Установка нанесения/проявления фоторезиста LCS

 

  • Установки нанесения и проявления фоторезиста серии LCS

Различные модификации установок данной серии позволяют использовать их как для нанесения, так и для проявления фоторезиста и могут быть легко сконфигурированы под требования Заказчика. LCS позволяет обрабатывать пластины диаметром до 150 мм или прямоугольные подложки размером до 127х127 мм. Установка ориентирована для работы в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях.

Подробнее

         Установка проявления фоторезиста

  • Установка проявления фоторезиста УПФ

Установка предназначена для проявления фоторезиста, нанесенного на пластины/подложки посредством налива проявляющей жидкости различными типами струй с их последующей промывкой. Процесс проявления происходит в автоматическом режиме и легко программируется с помощью сенсорного дисплея. Программное обеспечение позволяет задавать оператору даже самые сложные рецепты обработки.

Подробнее