Установка химической обработки пластин
Линия химического осаждения золота
Линия предварительной подготовки перед нанесением резиста
- Линия травления резистивных слоев
Линия предваритеной подготовки перед напылением резистивных и проводниковых слоев
Технические и функциональные характеристики:
Линии встроены в пылезащитные шкафы, модули монтируются на индивидуальных каркасах со встроенными блоками управления. Каркасы оборудованы роликовыми опорами с фиксаторами. Каркас представляет собой сварную конструкцию из стальных прямоугольных труб с защитным полимерным покрытием, на котором монтируется столешница из полипропилена, с ваннами и исполнительными устройствами.
Конструкция и исполнение линий технических процессов отвечает требованиям к оборудованию, установленному в помещении с классом чистоты 8 ИСО ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002 «Требуемые классы чистоты. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды».
Ванна химического золочения.
Ванны, кроме глухих, оборудованы сливными патрубками с вентилями.
Ванны улавливания и ванны промывки оборудованы заливными патрубками, ванны промывки оборудованы сливом из основной ванны с вентилем, из кармана – без вентиля.
Устройства слива растворов и промывки вод расположены под столешницей модулей над поддоном и соединяться общей сливной трубой с установкой регенерации, либо с канализационным трубопроводом, кроме сливов органических растворителей. Органические растворители сливаются в емкости. Растворы из глухих ванн удаляются либо насосом в соответствующий трубопровод, либо путем извлечения ванны и сливом в емкость (легкосъемные ванны).
Залив и слив (с помощью вентиля) технологических растворов в (из) ванн производиться вручную.
Глухие ванны легкосъемные.
Деионизованная вода в промывные ванны подается из накопительной емкости насосом, расположенным непосредственно на участке водоподготовки деионизованной воды. Управление насосом осуществляется с мест потребления деионизованной воды.
Ванны промывки в проточной воде оснащены системой регулировки подачи деионизованной воды из накопительной емкости.
Ванны сушки оборудованы регистрами с форсунками, нагрев воздуха и азота производится калориферами. Датчик установлен в протоке подогреваемой среды. Калорифер изготовлен из алюминиевого сплава, нагрев осуществляется ИК лампами.
Система подогрева обеспечивает постоянный и равномерный подогрев рабочей среды.
Управление осуществляется с места потребления при помощи магнитного клапана.
Должно быть обеспечено соответствие подаваемого воздуха требованиям ГОСТ 18463.
Нагревательные элементы ванн не вносят загрязнений в технологические среды, ванны с нагревом технологической среды укомплектованы датчиками для непрерывного измерения температуры рабочей среды.
Контроль и регулировка температуры осуществляется микропроцессорными устройствами.
Точность поддержания температуры растворов в регулируемом диапазоне должна быть ±1°С.
Контроль времени осуществляется микропроцессорными реле времени. Реле должно индицировать время окончания процесса и позволять задавать число циклов обработки от 1 до 5, время обработки и обеспечивать подачу сигнала об окончании процесса. Время нагрева реагентов от температуры 200С до 1000С 60 минут.
Ванна никелирования, ванны золочения , ванна палладирования оборудованы крышками из фторопласта. Ванны промывки оборудованы крышками из полипропилена. Под ваннами расположены полипропиленовые поддоны для сбора растворов при аварийной утечке.
Линии оснащены открывающимися прозрачными экранами по фронту и прозрачными стационарными боковыми экранами. Верхнее фронтальное поликарбонатное стекло крепится к каркасу линии петлями, нижние дополнительные фронтальные поликарбонатные стекла – съемные. В задней полипропиленовой стенке линий расположены вентиляционные решетки и фланцы для подключения вытяжной вентиляции.
Линии оснащены системой автоматизированного контроля за параметрами технологического процесса (температура, время).
Производительность линий 300 подложек в смену.
Мощность линий 10 кВт.
