Линия проявления фоторезиста

 (сертификат соответствия №POCC.RU.04СКЦ.TST.П.00076/1, ТУ ВРЛА 443249.002-12)

Линия проявления фоторезиста с корректировкой в автоматическом режиме:
  • обеспечивает проявление посредством струйного и погружного проявления для обеспечения вымывания из отверстий с высоким соотношением минимального диаметра сквозного отверстия к толщине (более 1:8);
  • обладает возможностью профилактического обслуживания и замены элементов транспортной системы форсунок, распылительных труб и нагревателей без слива растворов;

 1.      Общий вид участка сборки модулей

1

2

   2.      Модуль входной

3

3. Модуль проявления I (стуйный)

4

 

5

4. Модуль проявления II (погружной) 

6

5. 3-х каскадная промывка с погружной зоной

7

 8  

6. Сушка + выход

9

10

         7. Станция приготовления и дозировки раствора в автоматическом режиме   

11  

8. Стойка управления                      

12

Наименование
технических характеристик
Значение
Марка оборудования
 
Наименование страны происхождения оборудования
V3  
Модель УПФ
Россия
Установка проявки фоторезиста
Обеспечивает проявку сухого пленочного фоторезиста в слоях и готовых платах по следующему циклу:
- входной модуль
- модуль проявления
- модуль допроявления
- трехкаскадная промывка
- финишная промывка
- сушка
- выходной модуль
Технические характеристики:
 
Размер плат:
 
- минимальный размер заготовок;
- максимальный размер заготовок.
 
Толщина:
- минимальная толщина заготовок;
- максимальная толщина заготовок;
 
Материал
 
Конвейерная система
 
 
 
 
 
Скорость конвейера
 
Рабочая скорость
 
Высота конвейера
 
Ширина конвейера
 
Эффективная ширина конвейера
 
Направление движения конвейера
 
Диаметр роликов
 
Расстояние между роликами
 
 
250 мм х 250 мм
650 мм х 650 мм
 
 
0,06 мм (не включая медь)
5 мм (не включая медь)
 
жесткости FR4
 
с роликами из полипропилена
оси конвейерной системы сделаны из карбонового волокна
металлические детали линии изготовлены из нерж. стали и титана
 
регулируемая, 2,5 м/мин
 
0,5 м/мин
 
1100 мм
 
760 мм
 
650 мм
 
справа налево
 
32 мм
 
25 мм
Электротехнические характеристики:
 
Электропитание
Частота сети
Потребляемая мощность
3х380 В
50 Гц
21,2 кВт
Параметры установки
 
Длина х Ширина х Высота
4141 х 2100 х 2640 мм (с учетом подключенных коммуникаций)
Водопотребление:
– промывка
– охлаждение
 
8 л/мин
24 л/мин
Давление в магистрали охлаждающей воды
от 2 бар до 3 бара
Температура охлаждающей воды
от 100С до 150С
Производительность вытяжки:
- рабочий модуль
- сушка
 
12,6 м3/мин
8,4 м3/мин
Вентиляционная труба, 1шт.
предусмотрена вентиляционная труба, 1шт.
Шкаф управления встроенный в установку с применением PLC контроллера и сенсорного экрана
предусмотрен шкаф управления встроенный в установку с применением PLC контроллера и сенсорного экрана
Сливные патрубки:
- химический, 1 шт.
- для воды, 1 шт.
предусмотрены сливные патрубки:
- химический, 1 шт.
- для воды, 1 шт.
Процесс проявления фоторезиста
84 с
Эффективная длина камеры проявления фоторезиста
700 мм при температуре от 280С до 350С
Схема процесса включает:
1. Входной модуль
 
- материал корпуса
- длина
 фото-электрический датчик, 1 шт.
 
кнопка аварийной остановки, 1 шт.
ПВХ
332 мм
предусмотрен фото­электрический датчик, 1 шт.
предусмотрена кнопка аварийной остановки, 1 шт.
2. Проявление фоторезиста
 
- материал корпуса
- длина
- объем
Насос, 1 шт.:
- мощность
- давление
- регулируемая рабочая температура
ПВХ
1277 (875) мм
380 л
предусмотрен насос, 1 шт.:
5,5 л/с
регулируемое, от 1,0 бар до 2,5 бар
от 280С до 350С с автоматическим поддержанием
Струйная обработка
 
отжимные валы
коллектор, 4 шт.-верх, 4 шт.-низ:
 
- материал
материал полипропилен
предусмотрены: коллектор, 4 шт.-верх, 4 шт.-низ:

ПВХ

Форсунка щелевая, не менее 80 шт.
предусмотрены - форсунка щелевая,
80 шт.
Система фильтрации
с фильтром, 10 мкм, с насосом
Термостатическая система
 
нагреватель/змеевик охлаждения
- материал
- термостат
6 кВт х 1шт./диаметр 19 мм х 10м
нержавеющая сталь
предусмотрен цифровой
Вытяжка,  2 шт.
диаметр 3"
3. Обработка свежим раствором (допроявление)
- длина
- объем
- материал корпуса
Насос,1 шт.:
- мощность
- давление
- регулируемая рабочая температура
 
 478 (280) мм
150 л
ПВХ
предусмотрен насос, 1 шт.:
2 л/с
регулируемая от 1,0 бар до 1,8 бар
от 280С до 350С с автоматическим поддержанием
Струйная обработка
 
отжимные валы
коллектор, 2 шт.-верх, 1 шт.-низ:
 
- материал
материал полипропилен
предусмотрены: коллектор, 2 шт.-верх, 1 шт.-низ:

ПВХ

Форсунка щелевая, не менее 32 шт.
Предусмотрены - форсунка щелевая, 32 шт.
Система фильтрации
с фильтром, 10 мкм, с насосом
Термостатическая система
 
нагреватель – 1шт.
змеевик охлаждения
- материал
- термостат
мощность, 2 кВт
диаметр 19 мм х 6м
нержавеющая сталь
предусмотрен цифровой
Вытяжка, 1 шт.
диаметр 3?
4. Трехкаскадная промывка
 
I Промывка водой вторичного использования:
Струйная обработка:
отжимные валы
коллектор, 1 шт.-верх
- материал
 
 
 материал полипропилен
предусмотрен коллектор, 1 шт. - верх
ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 6 шт.
предусмотрены - форсунка щелевая, 6 шт.
Расходомер
1 шт., измеряет диапазон  от 0 до 8 л/мин
II Каскадная промывка под давлением (1):
- длина
- объем
коллектор, 1 шт.
- мощность
- давление
 
292 мм
50 л.
предусмотрен коллектор, 1 шт.
2 л/с
предусмотрено регулируемое, 
1,5 бар
2,7 бар
Струйная обработка:
отжимные валы
коллектор, 2 шт. – верх, 1 шт. – низ
 
- материал
 
материал полипропилен
 предусмотрены - коллектор, 2 шт. - верх, 1 шт. - низ

ПВХ

Форсунка щелевая, не менее 36 шт.
предусмотрена форсунка щелевая, 36 шт.
Система фильтрации
предусмотрена с фильтром, 10 мкм, с насосом
III Каскадная промывка под давлением (2):
- длина
- объем
- материал
коллектор,  1 шт.
- мощность
- давление
 
292 мм
50 л.
ПВХ
предусмотрен коллектор, 1 шт.
2 л/с
предусмотрено регулируемое, 
1,5 бар
2,7 бар
Струйная обработка:
отжимные валы
коллектор/ (Воздушный нож), 2 шт. – верх, 1 шт. – низ
- материал
 материал полипропилен
предусмотрены - коллектор/(Воздушный нож), 2 шт. - верх,1 шт. - низ
ПВХ
Форсунка щелевая, не менее 36 шт.
предусмотрены - форсунка щелевая, 36 шт.
Система фильтрации
предусмотрена с фильтром, 10 мкм, с насосом
IV Каскадная промывка под давлением (3):
- длина
- объем
- материал
коллектор, 1 шт.
- мощность
- давление
 
292 мм
50 л.
ПВХ
предусмотрен коллектор, 1 шт.
2 л/с
предусмотрено регулируемое
1,5 бар
2,7 бар
Струйная обработка:
отжимные валы
коллектор 2 шт. – верх, 1 шт. – низ
 
- материал
 
материал полипропилен
предусмотрен - коллектор 2 шт. - верх, 1 шт. - низ

ПВХ

Форсунка щелевая, не менее 36 шт.
предусмотрены - форсунка щелевая, 36 шт.
Система фильтрации
предусмотрена с фильтром, 10 мкм, с насосом
V Подача свежей воды
 
Струйная обработка:
отжимные валы
коллектор, 1 шт. – верх, 1 шт. – низ
 
- материал
 
материал полипропилен
предусмотрен - коллектор 1 шт. - верх, 1 шт. - низ

ПВХ

Форсунка щелевая, не менее 12 шт.
предусмотрены - форсунка щелевая, 12 шт.
Расходомер, 1 шт.
предусмотрен расходомер, 1 шт. измеряет диапазон от 0 до 8 л/мин
Электромагнитный клапан (1/2), 1 шт.
предусмотрен электромагнитный клапан (1/2), 1 шт.
Отжимные впитывающие валики, 2 шт. – сверху, 2 шт. – снизу
предусмотрены отжимные впитывающие валики, 2 шт. - сверху, 2 шт. - снизу материал ПВА
VI Обдувка:
- длина
- материал корпуса
Воздуходувка, 1 шт.
- мощность
- коллектор/ (Воздушный нож):
 1 шт. – верх, 1 шт. – низ
 
425 мм
ПВХ
предусмотрена воздуходувка, 1 шт.
4 Вт
предусмотрен - коллектор/ (Воздушный нож): 1 шт. - верх, 1 шт. - низ
Система фильтрации
предусмотрена с фильтром, 5 мкм
5. Выходной
- длина
 
382 мм
Система фильтрации
предусмотрена с фильтром 5 мкм
Кнопка аварийной остановки
предусмотрена кнопка аварийной остановки
Снятие статического электричества
предусмотрено снятие статического электричества
Пульт управления с сенсорным ЖК экраном
предусмотрен пульт управления с сенсорным ЖК экраном
Датчик на входе конвейера
предусмотрен датчик на входе конвейера
Выключатели на входе и выходе установки
предусмотрены выключатели на входе и выходе установки
Для коллекторов
предусмотрено байонетное крепление
цветовая и буквенная маркировка
Быстросъемные форсунки с байонетным креплением
предусмотрены быстросъемные форсунки с байонетным креплением
Емкость для хранения отжимных валов и форсунок
встроена в установку
Маркировка вентилей
тремя цветами, красным, синим, зеленым
Валы конвейера
цветовая и сквозная цифровая маркировка роликов и втулок
Установка
оснащена туманоуловителем
Все внешние фильтры, боковые и верхние крышки
снабжены датчиками
Туманоуловители и вытяжные коллектора
размещены над установкой
Язык интерфейса
русский, английский
Комплект поставки:
 
1. Установка проявки фоторезиста
1 шт.
2. Комплект запасных частей (ЗИП)
предусмотрен комплект запасных частей (ЗИП)
3. Инструкция оператору установки (включая инструкцию по техническому обслуживанию установки и инструкцию по технике безопасности)
на русском языке
4. Схема установки: модуль за модулем
на русском языке
5. Электрическая схема
предусмотрена электрическая схема
6. Документация по эксплуатации
на русском языке на электронном и бумажном носителях
7.Пуско-наладочные работы с отработкой технологического процесса и инструктаж специалистов Заказчика
проводит Поставщик
8. Сертифицированные инженеры по проведению пуско-наладочных работ данного оборудования
Сертифицированные инженеры по проведению пуско­наладочных работ данного оборудования
9. На контрольно-измерительные приборы, входящие в состав установки
Предусмотрены свидетельства о поверке (калибровки), руководство по эксплуатации на русском языке