Установки химической обработки ЛНГМ

Установки предназначены для проведения различных химических процессов, проводимых при производстве изделий микроэлектроники:

  • Химическое или гальваническое осаждение металлов: 
    золочение, меднение, никелирование, палладирование и др.

  • Предварительная подготовка пластин/подложек перед вакуумным напылением
  • Травление резистивных слоев
  • Обработка в органических растворителях
  • и пр.

 Установка травления и химической обработки пластин

Корпус установки полностью выполнен из полипропилена. В задней стенке расположена вытяжная вентиляция, служащая для отсоса вредных паров из рабочей зоны. Ванны и другие элементы установки размещаются на перфорированной полипропиленовой столешнице. Под столешницей установлен поддон для локализации аварийных утечек. Рабочая зона закрывается регулируемым по высоте прозрачным экраном из пластика.

 

Рабочая зона

 

Ванны могут иметь следующее оснащение:

  • Система фильтрации раствора
  • Таймер длительности процесса
  • Система поддержания температуры раствора с прямым или косвенным нагревом
  • Системой измерения электропроводности для ванн промывки
  • Механизм покачивания/встряхивания
  • Автоматический дозатор
  • Ультразвуковой генератор
  • Программируемый источник тока
  • Система автоматического слива насосом или система эжекторного слива с разбавлением концентрированных растворов 1:10
  • и пр.

Количество, состав ванн и их комплектация согласуется индивидуально в соответствии с требованиями Заказчика. Материал ванн подбирается исходя из химической и температурной стойкости к рабочим растворам.

Ванна травления
Ванна травления с нагревом до 145 град.

Система фильтрации растворов
Система фильтрации растворов

Система автоматического слива
Система автоматического слива насосом

Ванна-стоп и ванна финишной промывки
Стоп-ванна и ванна финишной промывки

В состав установки могут быть также включены следующие элементы:

  • Модуль обеспыливания
  • Ванна сушки подогретым азотом или воздухом
  • Стоп-ванна (Quick Dump Rinse)
  • Центрифуга для групповой сушки пластин/подложек
  • Модуль нанесения фоторезиста
  • Различная оснастка для обработки пластин/подложек


Примеры реализованных установок

  1. Установка гальванического золочения
  2. Установка гальванического меднения
  3. Установка гальванического никелирования-золочения
  4. Установка гальванического радирования
  5. Установка химической обработки пластин в органических растворителях
  6. Установки химической обработки и травления