Установка химической обработки пластин в органических растворителях

Установка предназначена для химической обработки полупроводниковых пластин и удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин в органических растворителях. Имеет 5 рабочих ванн:

1. Ванна обработки в органических растворителях

    • Материал ванны нержавеющая сталь.
    • Габариты 218х278х200 h.
    • Система нагрева и поддержания температуры. Косвенный нагрев через глицериновую рубашку. Нагрев до 100 С°.
    • Донная решетка с отверстиями для установки кассет с пластинами.
    • Система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером.
    • Крышка с водяным охлаждением.
    • Сливной патрубок с вентилем.
    • Азотные ножи. Представляют собой отверстия, расположенные в верхней части внутренней стенки ванны, ближней к оператору. При открывании крышки ванны через эти отверстия подается поток азота из магистрали, отсекающий пары реагента от оператора и направляющий его в сторону вытяжной вентиляции.

2. Ванна обработки в органических растворителях

3. СТОП-Ванна

    • Материал ванны полипропилен.
    • Габариты 200х300х200 h.
    • Съемная крышка из полипропилена.
    • Блок управления.

СТОП-ванна предназначена для отмывки пластин в деионизованной воде путем многократного сброса воды из ванны и быстрого наполнения ванны с пластинами водой через патрубок, расположенный в дне ванны и форсунки, расположенные вдоль передней и задней стенок ванны. Сброс воды осуществляется через клапан сброса с пневматическим управлением.

4. Ванна финишной промывки

    • Материал ванны полипропилен.
    • Габариты 200х300х160 h.
    • Переливной карман с кондуктометром для контроля качества отмывки полупроводниковых пластин.
    • Сливной патрубок с вентилем.
    • Патрубок подачи дистиллированной воды с вентилем, расположенный в днище ванны.
    • Съемная крышка из полипропилена.

5. Ванна финишной промывки

Установка изготовлена из полипропилена с соединительными деталями из нержавеющей стали. В задней стенке расположены вентиляционные решетки и фланец для подключения к цеховой вентиляции. Установка укомплектована прозрачными экранами по фронту и стационарными верхним и боковыми экранами. В столешнице расположены ванны, пистолет подачи деионизованной воды и пистолет подачи азота. На лицевой панели корпуса расположены органы управления установкой: автомат включения, таймеры для контроля продолжительности технологических процессов и кнопки включения таймеров, терморегуляторы для задания температуры в ваннах обработки пластин.

Технические характеристики:

Рабочая температура в ванне обработки в органических расторителях, не более, град.

75

Время нагрева ванны обработки в органических растворителях до рабочей температуры, не более, мин

40

Время непрерывной работы, час, не менее

8

Давление деионизованной воды, подаваемой на установку, МПа

0,3

Давление сжатого воздуха, подаваемого на установку, МПа

0,4

Диаметр трубки подачи сжатого воздуха, мм

6

Производительность вытяжной вентиляции, не менее, м3

600

Напряжение питания, В

220

- с частотой тока, Гц

50

Потребляемая мощность, кВт, не более

2,5

Габаритные размеры (ВхШхД), не более, мм

1600х1800х960 

Масса, не более, кг

400