Установка химической обработки и травления пластин
Установка предназначена для химической обработки полупроводниковых пластин и травления полупроводниковых пластин. Имеет 6 рабочих ванн:
1. Ванна химической обработки (обработка в смеси серной кислоты и перекиси водорода)
- Материал ванны фторопласт (PVDF).
- Габариты 210х350х250 h.
- Система нагрева и поддержания температуры. Нагрев до 100 С°.
- Донная решетка с отверстиями для установки кассет с пластинами.
- Система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером.
- Барботаж.
- Система эжекторного слива реагентов, дно глухое.
- Азотные ножи. Представляют собой отверстия, расположенные в верхней части внутренней стенки ванны, ближней к оператору. При открывании крышки ванны через эти отверстия подается поток азота из магистрали, отсекающий пары реагента от оператора и направляющий его в сторону вытяжной вентиляции.
2. Ванна химической обработки (травление в ортофосфорной кислоте)
3. Ванна химической обработки (травление в смеси водного раствора гидроксида калия и изопропилового спирта)
4. СТОП-Ванна
- Материал ванны полипропилен.
- Габариты 200х300х200 h.
- Съемная крышка из полипропилена.
- Блок управления.
СТОП-ванна предназначена для отмывки пластин в деионизованной воде путем многократного сброса воды из ванны и быстрого наполнения ванны с пластинами водой через патрубок, расположенный в дне ванны и форсунки, расположенные вдоль передней и задней стенок ванны. Сброс воды осуществляется через клапан сброса с пневматическим управлением.
5. Ванна финишной промывки
- Материал ванны полипропилен.
- Габариты 200х300х160 h.
- Переливной карман с кондуктометром для контроля качества отмывки полупроводниковых пластин.
- Сливной патрубок с вентилем.
- Патрубок подачи дистиллированной воды с вентилем, расположенный в днище ванны.
- Съемная крышка из полипропилена.
6. Ванна финишной промывки
Технические характеристики:
Рабочая температура в ваннах химической обработки, не более, град. | 100 |
| Время нагрева ванн химической до рабочей температуры, не более, мин | 60 |
| Время непрерывной работы, час, не менее | 8 |
| Давление деионизованной воды, подаваемой на установку, МПа | 0,3 |
| Давление сжатого воздуха, подаваемого на установку, МПа | 0,4 |
| Диаметр трубки подачи сжатого воздуха, мм | 6 |
| Производительность вытяжной вентиляции, не менее, м3/ч | 600 |
| Напряжение питания, В | 220 |
| - с частотой тока, Гц | 50 |
| Потребляемая мощность, кВт, не более | 3,5 |
| Габаритные размеры (ВхШхД), не более, мм | 1600х1800х960 |
| Масса, не более, кг | 400 |
