Установки нанесения/проявления фоторезиста LCS

 

  • Удобное управление на базе ПК с сенсорным дисплеем

  • Моторизированный манипулятор с возможностью программирования высоты дозирования

  • Возможность установки до 6 линий дозирования/подачи

  • Малая занимаемая площадь 600х625 мм

  • Автоматическая прозрачная крышка с датчиком закрытия

  • Легкосъемная чаща для быстрой очистки

Установка нанесения/проявления фоторезиста LCS

Установки серии LCS предназначены для нанесения или проявления фоторезиста и могут быть легко сконфигурированы под требования Заказчика. LCS5 позволяет обрабатывать пластины диаметром до 150 мм или прямоугольные подложки размером до 127х127 мм. Установка ориентирована для работы в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях.

Установка нанесения фоторезиста может быть укомлпектована различными системами дозирования:

  • Емкость под давлением. Давление регулируется с помощью прецизионного регулятора с цифровым манометром
  • Пневматический шприцевой дозатор, который идеально подходит при частой смене фоторезистов
  • Моторизированный шприцевой дозатор для дозирования фоторезистов высокой вязкости

Для обеспечения химической совместимости с дозируемыми веществами модуль центрифуги может быть выполнен из различных материалов: полипропилен, фторопласт, анодированный алюминий. 

Передний отсек LCS

Модуль центрифуги LCS

Передний отсек установки
нанесения фоторезиста LCS

Модуль центрифуги
с моторизированным манипулятором

 Программное обеспечение позволяет задавать оператору даже самые сложные рецепты обработки, которые могут включать в себя до 50 шагов (сегментов) с индивидульным ускорением, скоростью и другими параметрами.

Опции:
  • Модуль задубливания фоторезиста
  • Широкий выбор легкосъемных столиков из различных материалов с вакуумным или механическим креплением пластин/подложек
  • Промывка тыльной стороны пластины (BSR)
  • Инструмент для центрирования пластин/подложек на вакуумных столиках
  • Модуль обеспыливания
Технические характеристики:
 
Размер обрабатываемых пластин, не более, мм

150

Скорость вращения центрифуги,
не более, об/мин   
8000
Количество линий дозирования
до 5
Количество хранимых рецептов обработки
неограниченно
Напряжение питания, В
220
с частотой тока, Гц
50
Потребляемая мощность, не более, кВт
1
Габаритные размеры, не более, мм
600x625x1300
Вес, не более, кг
130