Установка сушки пластин УО

 
  • Удобное управление на базе сенсорного дисплея

 

  • Кнопка быстрого запуска повторяющегося процесса

 

  • Автоматическая крышка

 

  • Датчики наличия сжатого воздуха и азота на входе в установку

 

  • Блокировка запуска процесса с открытой крышкой

 

  • Проектирование центрифуги под кассеты Заказчика

 

 

Установка сушки пластин - общий вид

Установка предназначена для сушки полупроводниковых пластин методом центрифугирования после проведения операция химической обработки или травления. Обработка пластин происходит в групповых кассетах. В ходе выполнения операции пластины сначала орошаются деионизованной водой, а после обдуваются потоком нагретого до температуры 75°С  азота. Загрузка и выгрузка кассет с пластинами осуществляется вручную. Установка предназначена для работы в чистых помещениях класса 100.

Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение имеет простой и понятный интерфейс и позволяет задавать оператору различные рецепты обработки, которые включают в себя две стадии с индивидуальными значениями скорости центрифуги, времени обработки и температуры сушки.

В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и обеспечить постоянство результата отмывки-сушки.


 Установка сушки пластин - карусель
Карусель для размещения групповых кассет на 4 места

 

Установка выполнена в напольном исполнении и состоит из следующих основных элементов:

  • Корпус, выполненный из полипропилена
  • Центрифуга, где происходит процесс обработки пластин;
  • Крышка, через которую осуществляется подача деионизованной воды и подогретого азота на пластины. Подъем и опускание крышки происходится автоматически;
  • Сенсорный дисплей, предназначенный для вывода информации о состоянии системы, задания режимов работы, а также для выполнения настроечных операций;
  • Лицевая панель, на которой расположены элементы индикации работы установки;
  • Передний отсек, где расположены пневматический и гидравлические блоки;
  • Задний отсек, где расположен электрический блок.

Технические характеристики:

 

Диаметр обрабатываемых пластин, мм

76, 100, 150, 200

Максимальное количество загружаемых кассет, не более, шт.

 4

Диапазон задания выполнения каждой операции (промывка водой и сушка азотом), с

60-9999

Температура нагрева крышки ванны, град. С

75

Диапазон регулирования скорости вращения шпинделя, об/мин

100-1200

Давление подводимого азота, не менее, МПа

0,2-0,25

Диаметр трубки подвода азота, мм

10

Давление деионизованной воды, не менее, МПа

0,2-0,25

Диаметр трубки подвода деионизованной воды, мм

10

Давление подводимого сжатого воздуха, не менее, МПа

0,45-0,6

Диаметр трубки подвода сжатого воздуха, мм

 10

Диаметр трубы подключения к химически стойкой канализации, мм

63

Внутренний диаметр подводимого воздуховода, мм

110

Напряжение питания, В

220

           с частотой тока, Гц

50

Потребляемая мощность, не более, кВт

1

Габаритные размеры, не более, мм

870х675х1260

Масса, не более, кг

110