Центрифуга для нанесения фоторезиста TCS

 

  • Хранение до 50 программ обработки с 24 шагами каждая

 

  • Кнопка быстрого запуска для повторяющегося процесса

 

  • Удобное управление на базе сенсорного дисплея

 

  • Вакуумная или механическая фиксация пластин/подложек

 

  • Прозрачная крышка из ПВХ с датчиком блокировки работы при открытой крышке

Установка нанесения и проявления фоторезиста TCS

 

Настольная установка серии TCS предназначена для нанесения/проявления фоторезиста и может быть легко сконфигурирована под требования Заказчика. Установка ориентирована на работу в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях.

В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и получать равномерное покрытие на пластинах диаметром до 150 мм или прямоугольных подложках с габаритными размерами до 127х127 мм.

Для обеспечения химической совместимости с дозируемыми веществами модуль центрифуги может быть выполнен из различных материалов: полипропилен, фторопласт, анодированный алюминий.

Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение позволяет задавать оператору сложные рецепты обработки, которые могут включать в себя до 50 шагов с индивидуальными значениями ускорения, скорости и времени.

Опции:

  • Шприцевой пневматический дозатор фоторезистов
  • Моторизированный шприцевой дозатор для фоторезистов с высокой вязкостью
  • Блок дозирования из бутыли под давлением
  • Широкий выбор легкосъемных столиков из различных материалов с вакуумным или механическим креплением пластин/подложек
  • Инструмент для центрирования пластин/подложек на вакуумных столиках
  • Наддув азота в модуль центрифуги
  • Чаша центрифуги из анодированного алюминия, фторопласта или нержавеющей стали
  • Удаление краевого валика (edge bead removal)

Технические характеристики:

 

Размер обрабатываемых пластин, не более, мм

150

Размер обрабатываемых прямоугольных подложек, не более, мм

 127х127

Скорость вращения центрифуги, не более, об/мин

8000

Напряжение питания, В

 220

           с частотой тока, Гц

50

Потребляемая мощность, не более, кВт

0,5

Давление сжатого воздуха (для создания вакуума),
не менее, МПа

0,3

Наружный диаметр шланга подачи сжатого воздуха, мм

 6

Наружный диаметр сливного шланга, мм

12

Внутренний диаметр воздуховода вытяжки, мм

50

Габаритные размеры, не более, мм

 350х450х410

Вес, не более, кг

23