Установка дисковой резки "Сатурн"

Установка дисковой резки САТУРН

 

  • Высокоточный прецизионный шпиндель на воздушныхподшипниках 60 000 об/мин

 

  • Бесконтактное измерение диаметра диска

 

  • Точность разделения пластин/подложек до 3 мкм

 

  • Жесткая конструкция установки, обеспечивающая минимальные вибрации при резке

 

  • Дружественный интерфейс программного обеспечения

 

 

    Установка дисковой резки «САТУРН» предназначена для прецизионной дисковой резки пластин и подложек из полупроводниковых и диэлектрических материалов:
  • Поликор ВК-100
  • Керамика ВК-94, ВК-40, Т-150 и др.
  • Ситалл
  • Кварц
  • Ниобат лития
  • Кремний
  • Арсенид галлия
  • Ферриты
  • Карбиды
  • Стекло и др.

    Высокое качество резки пластин/подложек обеспечивается благодаря жесткой конструкции корпуса, прецизионно отбалансированному валу шпинделя на воздушных подшипниках, а также плавной подачей заготовки.  

 Установка дисковой резки Сатурн - вид спереди
 Зона резки
 Оптический датчик измерения диаметра диска
 Пульт управления

    Система управления установки построена на базе компьютера промышленного исполнения с установленным программным обеспечением, которое обеспечивает работу установки в ручном и полуавтоматическом режимах. В ней использованы надежные комплектующие известных мировых производителей: платы управления Advantech Automation, пневматическая система - SMC, шаговые привода Oriental Motor, привод шпинделя KEB.

     В установке «Сатурн» реализованы новые алгоритмы позиционирования шпинделя по осям Y и Z, которые позволяют добиться точности резки и глубины врезания до 3 мкм. Текущее положение шпинделя контролируется линейными энкодерами.

    Установка оснащена датчиком бесконтактного измерения диаметра диска, который позволяет компенсировать износ диска в процессе работы. 

 

Технические характеристики: 
 
Размер обрабатываемых пластин/подложек
мм
до 150x150
Ось X
Привод
-
Воздушный подшипник
Скорость подачи стола
мм/с
0.1 - 200
Ось Y
Привод
-
ШВП с шаговым двигателем
Контроль позиционирования
-
Линейный энкодер
Дискретность перемещения
мм
0.001
Точность позиционирования
мм
0.003
Ось Z
Привод
-
ШВП с шаговым двигателем
Контроль позиционирования
-
Линейный энкодер
Дискретность перемещения
мм
0.001
Точность позиционирования
мм
0.003
Ось U
Угол вращения
град.
360
Контроль позиционирования
-
Угловой энкодер
Точность

угл. сек

5
Шпиндель
Мощность
кВт
1.2
Скорость вращения

1/мин

5 000 - 60 000
 
Напряжение питания
-
 220В, 50Гц, однофазное
Сжатый воздух
л/мин
 270 (при давлениии 5 бар)
Вода на охлаждение диска
л/мин
до 2
Габаритные размеры
мм
750x1150x1650
Вес
кг
410