Установка спреевого нанесения фоторезиста LSC

Установка спреевого нанесения фоторезиста LSC

 

 

 

  • Обработка пластин диаметром до 200 мм

 

  • Удобное сенсорное управление

 

  • Равномерное покрытие структур с высокой топологией

 

  • Нагревательный стол с функцией вращения

     

     

Установка предназначена для нанесения фоторезиста фоторезиста на пластины/подложки методом распыления или центрифугирования.

Метод распыления позволяет получить равномерное покрытие фоторезиста на пластинах/подложках с высокой топологией. Равномерность достигается за счет следующих факторов:

  1. Ультразвуковая форсунка позволяет получить атомизированную струю с размером капли порядка 10 мкм (в зависимости от вязкости используемого фоторезиста)

  2. Точная регулировка расхода фоторезиста на форсунку

  3. Постоянство скорости перемещения форсунки относительно поверхности пластины за счет ее движения по траектории «меандр»

Рабочая зона LSC
Рабочая зона

Для получения толстых многослойных покрытий установка оснащена вакуумным поворотным столом с подогревом. Нагрев стола позволяет подсушивать нанесенный слой фоторезиста перед нанесением нового слоя.

Технические характеристики:

 

Размер обрабатываемых пластин, не более, мм

200

Материал рабочей чаши

 Нержавеющая сталь

Фиксация пластины на столе

Вакуумная

Расход фоторезиста, мл/мин

 от 1 до 5

Максимальный объем наносимого фоторезиста, не более, мл

50

Скорость перемещения форсунки, мм/с

от 1 до 450

Диапазон температур нагревательного стола, °С

от комнатной до 80

Автоматическое подъемное стекло для защиты оператора

 Наличие

Количество рецептов, хранимых в памяти контроллера, шт.

50

Количество сегментов в каждом рецепте, шт.

24

Давление сжатого воздуха, не менее, МПа

 0,5

Диаметр трубки подвода сжатого воздуха, мм

10

Давление азота, не менее, МПа

0,2

Диаметр трубки подвода азота, мм

8

Производительность вытяжной вентиляции, не менее, куб.м/ч

250

Диаметр гофры для подключения вытяжной вентиляции, мм

125

Напряжение питания, В

220

          с частотой тока, Гц

50

Потребляемая мощность, не более, кВт

2

Габаритные размеры, не более, мм

850х750х1800

Вес, не более, кг

250