Установка проявления фоторезиста УПФ

  • Обработка пластин до диаметром 
    до 200 мм и подложек до 177х177 мм

     

  • Удобное сенсорное управление

     

  • До четырех независимых линий проявителей с автоматической промывкой и сушкой

     

  • Проявление различными типами струй, в том числе распылением

     

  • Сопло с электроприводом для равномерного проявления
 

Установка проявления фоторезиста УПФ.1М

Установка предназначена для проявления фоторезиста, нанесенного на пластины/подложки посредством налива проявляющей жидкости различными типами струй с их последующей промывкой. Процесс проявления происходит в автоматическом режиме и легко программируется с помощью сенсорного дисплея. Программно