Линия проявления фоторезиста

 (сертификат соответствия №POCC.RU.04СКЦ.TST.П.00076/1, ТУ ВРЛА 443249.002-12)

Линия проявления фоторезиста с корректировкой в автоматическом режиме:
  • обеспечивает проявление посредством струйного и погружного проявления для обеспечения вымывания из отверстий с высоким соотношением минимального диаметра сквозного отверстия к толщине (более 1:8);
  • обладает возможностью профилактического обслуживания и замены элементов транспортной системы форсунок, распылительных труб и нагревателей без слива растворов;

 1.      Общий вид участка сборки модулей

1

2

   2.      Модуль входной

3

3. Модуль проявления I (стуйный)

4

 

5

4. Модуль проявления II (погружной) 

6

5. 3-х каскадная промывка с погружной зоной

7

 8  

6. Сушка + выход

9

10

         7. Станция приготовления и дозировки раствора в автоматическом режиме   

11  

8. Стойка управления                      

12

Наименование
технических характеристик
Значение
Марка оборудования
 
Наименование страны происхождения оборудования
V3  
Модель УПФ
Россия
Установка проявки фоторезиста
Обеспечивает проявку сухого пленочного фоторезиста в слоях и готовых платах по следующему циклу:
- входной модуль
- модуль проявления
- модуль допроявления
- трехкаскадная промывка
- финишная промывка
- сушка
- выходной модуль
Технические характеристики:
 
Размер плат:
 
- минимальный размер заготовок;
- максимальный размер заготовок.
 
Толщина:
- минимальная толщина заготовок;
- максимальная толщина заготовок;
 
Материал
 
Конвейерная система
 
 
 
 
 
Скорость конвейера
 
Рабочая скорость
 
Высота конвейера
 
Ширина конвейера
 
Эффективная ширина конвейера
 
Направление движения конвейера
 
Диаметр роликов
 
Расстояние между роликами
 
 
250 мм х 250 мм
650 мм х 650 мм
 
 
0,06 мм (не включая медь)
5 мм (не включая медь)
 
жесткости FR4
 
с роликами из полипропилена
оси конвейерной системы сделаны из карбонового волокна
металлические детали линии изготовлены из нерж. стали и титана
 
регулируемая, 2,5 м/мин
 
0,5 м/мин
 
1100 мм
 
760 мм
 
650 мм
 
справа налево
 
32 мм
 
25 мм
Электротехнические характеристики:
 
Электропитание
Частота сети
Потребляемая мощность
3х380 В
50 Гц
21,2 кВт
Параметры установки
 
Длина х Ширина х Высота
4141 х 2100 х 2640 мм (с учетом подключенных коммуникаций)
Водопотребление:
– промывка
– охлаждение
 
8 л/мин
24 л/мин
Давление в магистрали охлаждающей воды
от 2 бар до 3 бара
Температура охлаждающей воды
от 100С до 150С
Производительность вытяжки:
- рабочий модуль
- сушка
 
12,6 м3/мин
8,4 м3/мин
Вентиляционная труба, 1шт.
предусмотрена вентиляционная труба, 1шт.
Шкаф управления встроенный в установку с применением PLC контроллера и сенсорного экрана
предусмотрен шкаф управления встроенный в установку с применением PLC контроллера и сенсорного экрана
Сливные патрубки:
- химический, 1 шт.
- для воды, 1 шт.
предусмотрены сливные патрубки:
- химический, 1 шт.
- для воды, 1 шт.
Процесс проявления фоторезиста
84 с
Эффективная длина камеры проявления фоторезиста
700 мм при температуре от 280С до 350С
Схема процесса включает:
1. Входной модуль
 
- материал корпуса
- длина
 фото-электрический датчик, 1 шт.